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    深圳市康柏工業陶瓷有限公司

    136-9226-4978
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    產品中心Product Center

    機械行業氧化鋁陶瓷件類別:機械行業陶瓷件

    簡介:半導體制造設備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤);粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機);一般產業用部件(激光加工機噴嘴、轉軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。

    產品介紹

    氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。


    氧化鋁(Al2O3)主要用途

    半導體制造設備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤);粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機);一般產業用部件(激光加工機噴嘴、轉軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。


    特點
    ○ 氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優異的電絕緣性能,早期開始即應用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本很低的材質。

    ○ 我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異,可生產大型產品。

    ○ 此外,由于其具有優異的耐等離子特性,也可用于CVD設備或蝕刻設備的部件。

    型號

    特點

    密度

    楊氏彈性模量

    彎曲強度

    斷裂韌性

    熱膨脹系數

    熱傳導率

    體積電阻



    [g/cm3]

    [GPa]

    [MPa]

    [MPa?m1/2]

    [×10-6/K]

    [W/m?K]

    [Ω?cm]

    氧化鋁99.5%

    用途廣泛高剛性

    3.9

    370

    440

    3~4

    6.3

    33

    >1014

    氧化鋁99.9%

    高純度高剛性

    3.9

    370

    450

    3~4

    6.3

    30

    >1014


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